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《半导体器件检测技术》是一门将理论与实践紧密结合的交叉学科，通过本课程的学习旨在使学生掌握半导体器件与材料检测的常用方法与原理，熟悉常用半导体测试设备的基本结构及其操作，能够对半导体材料和器件的物理性能、电学性能、光学性能等进行准确检测和分析。
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Overview
Syllabus
- 绪论
- 第一章 电阻率测试
- 1.1 四探针法
- 1.2 非接触测试法
- 实验一 四探针测试仪的使用
- 第二章 扩展电阻测试
- 2.1 扩展电阻测试的基本原理
- 2.2 扩展电阻测试的应用和实例
- 第三章 载流子寿命
- 3.1 载流子寿命的概念和分类
- 3.2 少数载流子寿命测试的基本原理和技术
- 3.3 微波光电导衰退法
- 第四章 少数载流子扩散长度测试
- 4.1 表面光电压法测试原理
- 4.2 表面光电压测试的应用和实例
- 第五章 霍尔效应测试
- 5.1 霍尔效应测试的基本理论
- 5.2 霍尔效应测试的应用
- 第六章 I-V和C-V测试
- 6.1 I-V测试的基本原理
- 6.2 C-V测试的基本原理
- 6.3 I-V和C-V测试系统
- 第七章 表面和薄膜成分分析
- 7.1 俄歇电子能谱技术
- 7.2 俄歇电子能谱技术的应用
- 7.3 X射线光电子谱
- 7.4 二次离子质谱和卢瑟福背散射
- 第八章 红外光谱测试
- 8.1 傅里叶变换红外光谱测试的基本原理
- 8.2 傅里叶红外光谱的应用
- 第九章 光学表征技术
- 9.1 光学显微镜
- 实验二 金相显微镜的使用
- 9.2 椭偏仪与薄膜应力仪
- 实验三 椭偏仪的使用
- 实验四 薄膜应力仪的使用
- 第十章 扫描探针显微镜表征技术
- 10.1 扫描隧道显微镜
- 10.2 原子力显微镜
- 10.3 原子力显微镜的应用与台阶仪
- 实验五 原子力显微镜的使用
- 实验六 台阶仪的使用
- 期末考试
- 期末考试
Taught by
YAN LIU
